対象規格
測定時に自分で校正作業をしないと値は当てにならないの？
JIS K5600-1-7には次のように記載されています。『使用前に製造業者の指示に基づいて、各装置は適切な校正用標準(フォイルなど)を用いて校正しなければならない』
膜厚計はなぜ使用者が自らフォイルを用いて事前に校正してから使用しなければならないのでしょうか？ それは比較測定法の特性から生じるものですが、極端な言い方をすれば、校正しないで使用した場合「その値は当てにはならないかもしれない」からです。
どのように校正をするの？
- ① ゼロ点調整は実際の素地もしくは実際の素地と同じ特性を持つ金属板で行ってください。
- ② 調整点は、実際の膜厚範囲より厚めで、なおかつ最も最大値に近いフォイルで実施してください。
また、厚膜の場合には２点調整を行なうとバラツキが小さくなります。詳細は膜厚計の取扱説明書等をご参照ください。
いつ校正作業をするの？
「試験場所に装置(＝膜厚計)を作動させるたびに、また、使用中頻繁に(少なくても１時間に１回)適切に作動していることを確認するため装置の校正を行なうものとする」とJISには記載されています。
では、どうして「頻繁に適切に作動していることを確認するために校正をする」必要があるのでしょうか？ 最大の理由は「プローブの先端摩耗」にあります。プローブの先端は素地などに繰り返し押し当てられますので、先端が摩耗して特性に変化が生じます。その特性の変化を校正により吸収する必要があり、また摩耗が進むとついには測定の再現性が得られなくなり修理や交換が必要になります。ある限界を超えると膜厚値に値がデジタル表示されたとしても、それはもはや規定の精度を逸脱したものとなっている可能性が大きいのです。そしていつ限界を迎えるかを予測するのは残念ながら難しいようです。
校正作業で何を調整しているの？
校正証明書付のフォイルを使用していれば1年間は精度が保たれるの？
残念ながら１年間の精度を保証するものではありません。JISには「校正用フォイルは一般に適切なプラスチック材料で作られている。これらはキズが付きやすくそのためしばしば交換しなければならない」と記載されています。「最低でも年に1回は交換する必要があるもの」「キズや折り目が付いたものは１年を待たずに交換するべき」とお考えいただくのが適切であると思います。
どこの膜厚計が優れているの？
難しいご質問ですね。汎用デジタル膜厚計は電磁誘導あるいは渦電流の原理を利用しています。原理的に同じである以上、精度上の制約や薄膜は不得手で20μm未満の膜厚測定にはあまり現実的ではない点も同じであろうと思います。現在膜厚計の良しあしを大きく決めている要因は、 ①データ管理ソフト と ②耐久性 であろうと思います。ですので、購入価格より測定値の信頼性がたいへん重要になると思います。先端に摩耗にきわめて強いルビーを利用する技術などは今後の開発方向を占うものだと思います。
